质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不受压力和温度影响。8701 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接处于旁路管道中。通过这种方式可以达到一个非常短的设备反应时间。当前流量会被作为模拟的标准信号输出或者通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8701 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，在选择与介质相接触的接头的材料时应确保，可利用所有的普通工艺气体运行设备。典型用途是，在检验机构、环境技术、医疗技术、分析结束中测量气体流量。

这种传感器在所谓的CTA中起着热膜风速计的作用

工作模式(恒温风速表)。要做到这一点，两个

温度系数的电阻器

直接在介质流动和三个电阻器位于流动的外面是

连接在一起形成一座桥。

气体流动中的个电阻(RT)

)测量流体温度，

而第二个，低值电阻(RS)是加热，以保持它

在一个固定的，与流体温度相关的预先设定的超温。

维持这一温度所需的加热电流是一种测量方法

流动的气体所带走的热量，代表主热量

测量。

在MFC内进行适当的流量调节并进行校准

高质量的流量标准保证了气体的每次流动质量

单元可以从原始信号中得到，具有较高的精度。

质量流量传感器是根据热原理工作的

提供独立于它的质量流有什么好处吗

压力和温度。

总气体流的一小部分被转移到一个小的，具体来说

设计旁路通道，保证层流条件。

所述传感器单元是嵌入该流道壁面的芯片。

该芯片由MEMS技术生产，包含一个加热电阻和

两个温度传感器(热电传感器)对称排列

加热器的上游和下游。的压差

热流计是通过流量传感器测量质量流量的一种方法。

校准过程实现了传感器的 分配

通过设备向总流量发送信号。